ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優于0.5%讀數

● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程

● 響應時間快，優于30 ms

● 內置98種氣體

● 可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度    ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度      ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性              ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

                    ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）

質量流量量程漂移    ± 0.01%讀數/ ℃（從25℃開始）

                    ± 0.1 %讀數/ Atm（從校準壓力開始）

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

            一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量    程       從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

量程可控比（穩態）    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標準為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角

            ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數的額外誤差

重 復 性    ±（0.2% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準壓力開始）

控制響應時間    30ms（與流量相關，用戶可調）

顯示響應時間    ＜10ms（與流量相關）

預熱時間    ＜1s

默認標況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%讀數（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40Hz@19200波特率；

                模擬信號：1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）

            額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質   302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷

             R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    標準為NPT內螺紋，詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40（IP66可選）

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

選項配件

標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調節PID算法 
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保

可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制